三坐标测量机气浮导轨滑块结构设计与仿真

作者：戚玉海; 程荣俊; 叶运生; 黄强先; 张连生

来源：工具技术, 2022, 56(01): 100-103.

DOI：10.3969/j.issn.1000-7008.2022.01.022

• 气浮导轨
• 小孔节流
• 结构设计
• 仿真分析

静压气浮导轨采用气体润滑,具有无摩擦、热变形小、寿命长等优点,且气膜的误差均化作用显著提高了其运动精度,满足三坐标测量机高精度、高平稳运动需求。为探究三坐标测量机中静压气浮导轨滑块的承载性能,建立了矩形气浮滑块结构模型,滑块内置小孔节流型气浮垫,运用COMSOL有限元仿真软件对其气浮静态承载特性进行仿真分析,验证了结构设计的合理性。

• 单位
  合肥工业大学