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摘要
本发明涉及离子源设备技术领域,具体涉及了一种多用途灯丝气体离子源装置,包括第一离化腔室,第一离化腔室的一端设有第一进气口且第一离化腔室的另一端上设有第一逸出口,第一离化腔室的外侧壁上缠绕有第一线圈,第一离化腔室内设有灯丝组件,灯丝组件包括相对设置的灯丝和反射极板,反射极板位于灯丝和第一逸出口的中心线之间,灯丝和反射极之间为并联连接。本发明通过缠绕在第一离化腔室外的第一线圈以及与灯丝相对设置的反射极板,提高了气体离化效率,同时从灯丝发射出来的杂质原子会被反射极板和第一离化腔室捕获,避免杂质原子污染被加工工件。
- 单位
