ZnO∶Al绒面透明导电薄膜性能研究

作者：薛俊明; 黄宇; 熊强; 马铁华; 孙建; 赵颖; 耿新华

来源：兵工学报, 2008, (04): 504-508.

• 凝聚态物理学
• 中频脉冲磁控溅射
• ZnO∶Al薄膜
• 绒面
• 溅射功率
• 工作气压

利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在一定浓度的稀盐酸中浸泡一定时间,使其形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了溅射功率、工作压力、腐蚀时间以及溶液浓度对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:低功率、低气压、腐蚀时间20 s、溶液浓度0.5%的条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在应用前景。

• 单位
  中北大学; 南开大学