掺杂非晶碳膜制备、性能及应用

作者：杨挺; 王涛; 吴春春; 申乾宏; 杨辉

来源：上海涂料, 2023, 61(05): 17-21.

• 非晶碳膜
• 铬掺杂
• 疏水性
• 导电性
• 射频消融

采用磁控溅射方法制备铬（Cr）掺杂非晶碳膜（a-C:Cr），通过XPS、SEM研究了Cr的掺杂比例对非晶碳膜结构与薄膜疏水性能、导电性能、摩擦因数等影响。结果表明：随着Cr掺杂量由0.9%增加到61.07%，薄膜表面愈发粗糙；接触角由79.71°增加到95.56°；摩擦因数由0.146逐渐增大到0.537;a-C:Cr薄膜的结合力为36.15～41 N；薄膜的表面电阻由2.17Ω降低至0.91Ω。消融实验结果显示，当Cr掺杂量大于26.80%时，经a-C:Cr薄膜表面改性的电极针表面组织粘连问题消失，且消融的牛肝体积大于未经表面改性的电极针。

• 单位
  浙江大学