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摘要
目前市面上的多晶硅大多采用改良西门子法生产的棒状多晶硅为主,在改良西门子法生产多晶硅过程中,硅芯是作为多晶硅生产过程中非常重要的辅材使用和消耗的。本文简要回顾了硅芯发展历史,重点阐述了改良西门子法多晶硅用铸锭硅芯的工艺流程、技术指标及影响因素。
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目前市面上的多晶硅大多采用改良西门子法生产的棒状多晶硅为主,在改良西门子法生产多晶硅过程中,硅芯是作为多晶硅生产过程中非常重要的辅材使用和消耗的。本文简要回顾了硅芯发展历史,重点阐述了改良西门子法多晶硅用铸锭硅芯的工艺流程、技术指标及影响因素。
