高纯六氟化钨中微量杂质的气相色谱分析

作者：付梦月; 张志勇; 侯玲玲; 黄晓磊

来源：化学推进剂与高分子材料, 2015, 13(06): 91-93.

DOI：10.16572/j.issn1672-2191.201506019

• 六氟化钨
• 脉冲放电氦离子化检测器
• 气相色谱
• 反吹

介绍了一种利用脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)分析六氟化钨(WF6)中气相杂质的方法。该法利用阀切割技术对WF6主组分进行反吹,避免其进入分析柱及检测器,可准确分析出其中杂质的含量。

• 单位
  黎明化工研究设计院有限责任公司