一种基于VCO量化的MEMS加速度计接口电路

作者：李凡阳; 洪思鑫

来源：微电子学, 2020, 50(03): 357-360.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.190460

• 接口电路
• MEMS
• 加速度计
• VCO

采用0.18μm CMOS工艺,设计了一种基于VCO量化的电容式MEMS加速度计接口电路。电路基于VCO实现量化,可直接输出数字信号,克服了传统模拟力反馈的非线性问题,且不需要ADC或额外的比较器电路,大大降低了电路的复杂性。仿真结果表明,该接口电路系统噪声基底为18μg·Hz-1/2,最大非线性误差为0.57%,电路功耗为6.7 mW,输入带宽和检测范围分别为2.5 kHz和±1.0 g。该接口电路达到较好的性能。

• 单位
  福州大学