一种基于误差源分析的圆光栅传感器测角误差修正方法

作者：于连栋; 贾华坤; 姜一舟; 赵会宁; 夏豪杰; 李维诗

来源：2019-04-09, 中国, ZL201910278871.2.

本发明属于测量仪器领域,公开一种基于误差源分析的圆光栅传感器测角误差修正方法,包括如下步骤,建立圆光栅传感器的测角误差模型；使用偏心检测装置的CCD相机和显微镜拍摄圆光栅传感器光栅盘表面刻线的图像照片；对每幅图像的各条刻线的右侧端点坐标分别使用图像处理方法,得到安装光栅盘偏心量e和安装偏心角θ0；检测旋转轴的光栅盘端面处径向误差δY(θ)；将测得的e,θ0δY(θ)带入测角误差模型中,得到圆光栅传感器的测角误差Δθ,修正函数即为-Δθ。能方便对旋转轴和光栅盘进行在线调整,提高圆光栅传感器的角度测量精度,减少误差。

• 单位
  合肥工业大学