带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器

作者：程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋; 杨恒; 戈肖鸿; 宋朝晖

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2012, (03): 547-553.

• 微机电系统
• 加速度传感器
• 自检功能
• 静电驱动
• 侧壁扩散
• 绝缘工艺

研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器.为实现该加速度传感器,提出了一套新的体硅微机械工艺,使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件.传感器采用在深槽侧壁(悬臂梁弯曲的表面)制作压阻的方法,灵敏度比在硅表面上制作压阻的传统器件高近一倍.传感器利用集成在内的静电驱动器,实现电自检测功能.

• 单位
  浙江大学; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所