仪器柔度对压入法测试结果的误差影响与校准

作者：周向阳; 蒋庄德; 王海容

来源：计量学报, 2007, (04): 339-343.

• 计量学
• 微机电系统
• 力学性能
• 压入法
• 仪器柔度
• 误差
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• MEMS
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• Calibration

分析了仪器柔度及其标定精度对压入法测试微机电系统(MEMS)材料弹性模量和硬度结果的误差影响规律,并得出了系统误差公式。通过溯源分析,认为柔度标定误差是压入法测试的3个基本源误差之一。利用间接法对微压入测试仪柔度进行了标定和校准,校准后得到的单晶硅(100)弹性模量和硬度测试值分别为151.5 GPa和12.8 GPa,与文献值符合较好,而未校准直接得到的测试值明显偏低。理论分析和实验结果均表明:仪器柔度的准确标定和位移校准是获得压入法可靠测试结果的必须步骤。

• 单位
  西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室