线上教学逐步代替传统教学是趋势,本文根据《半导体加工技术》研究生课程的内容与特点,探索开展线上的教学过程。详细介绍了半导体加工技术这门课的主要授课内容,并从课堂教学、课后反馈以及结课考察三个方面详细讨论了线上教学过程,并分析了线上教学的优缺点。