<正>现代电子工业是以高速和高集成度的器件为基础建立的。硅片上的集成电路不仅提高了网络速度,而且增强了计算机的功能性。对于创造高效的3D集成电路所需更高的集成度和更强的功能性,高效的芯片堆栈是必不可少的。晶圆键合-决