<正>紫外激光具有光波波长短、聚焦光斑尺寸小、对特定材料光能吸收率高、热区影响小等优势，采用紫外激光加工材料时可以获得很高的精度和质量，已引起微电子制造、航空航天等领域工程技术人员的高度重视。本文对紫外激光加工的影响因素进行了分析，实现了金属-树脂复合材料的激光无碳化直写刻蚀。根据激光与材料的相互作用机理，可将激光加工分为热加工和冷加工(光化学反应加工)。
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