工艺参数对CVI-TaC沉积速率的影响

作者：陈招科; 熊翔; 李国栋; 肖鹏; 张红波; 尹健; 黄伯云

来源：中国有色金属学报, 2006, (12): 2047-2053.

DOI：10.19476/j.ysxb.1004.0609.2006.12.010

• TaC
• 炭毡
• 化学气相渗透
• 扩散
• 沉积速率

利用TaCl5-Ar-C3H6-H2反应体系,采用化学气相渗透(CVI)法在炭毡中沉积TaC,并研究了CVI工艺参数如气体流速、滞留时间、沉积温度、沉积压力和H2的加入等对碳化钽在炭毡中沉积速率(用炭毡质量分数的增加来表示)的影响。研究表明:CVI-TaC受表面反应控制的最大气体流速为40 cm/s,最小滞留时间为1.2 s;沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程,沉积速率随沉积温度的升高先增加后减小,在950℃时达到最大值;在1 000℃时,CVI过程受孔隙扩散所控制;沉积速率随沉积压力的升高以及H2的加入而急剧增加。

• 单位
  粉末冶金国家重点实验室; 中南大学