微流控芯片的键合技术

作者：韩建华; 胡明军; 李少华; 张建平; 鲁闻生

来源：半导体技术, 2014, 39(07): 481-487.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2014.07.001

• 微流控芯片
• 键合
• 玻璃
• PDMS
• PMMA

微流控芯片实验室的成品率普遍较低,其中密封技术是微流控芯片制造过程的关键步骤,也是难点之一。玻璃等硬质材料常通过热键合和阳极键合技术实现密封,而节能省时的低温玻璃键合技术更受科研人员的青睐。此外,胶黏剂键合和表面改性键合以其便捷性和实用性的优势成为玻璃和聚合物芯片键合领域重要的部分。常用的聚二甲基硅氧烷(PDMS)和聚甲基丙烯酸甲基(PMMA)高聚物材料则依据其不同的适用场合而采用不同的键合方式。介绍和分析了微流控芯片领域常用的玻璃、PDMS和PMMA材质键合方式,为微流控芯片制备方法提供了技术指向,对提高微流控芯片制作的成品率产生积极的影响。

• 单位
  国家知识产权局; 中国科学院化学研究所; 河南理工大学