23.4nm软X射线多层膜反射镜研制

作者：刘震; 李旭; 马月英; 陈波; 曹健林

来源：光谱学与光谱分析, 2011, (04): 1138-1141.

• 极紫外
• 多层膜反射镜
• 磁控溅射
• X射线衍射仪
• 反射率计 Extreme ultraviolet
• Multilayer mirror
• Magnetron sputtering
• X-ray diffractometer
• Reflectometer

为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜。依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择新的材料Ti与Si组成材料对。设计优化材料多层膜的周期厚度(d),材料比例(Γ),周期数(N),计算出Ti/Si反射率曲线。通过实验优化各种镀膜工艺参数,制备出了23.4 nm的Ti/Si多层膜反射镜。利用X射线衍射仪和软X射线反射率计对Ti/Si多层膜结构和反射率进行检测,测量结果为Ti/Si多层膜反射镜中心波长0λ=23.2nm,正入射峰值反射率为R=25.8%。将Ti/Si多层膜反射镜与软X射线波段常用的Mo/Si多层膜反射镜相比,在23.4 nm处,Ti/S...

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院研究生院