摘要
采用电解液微弧碳氮化技术(PECN),在纯钛试样表面沉积出较厚且与基体结合牢固的多孔纳米Ti(C_xN_(1-x))改性层,研究了改性层结构和组成随PECN处理时间的演变规律.结果表明:随放电处理时间延长,PECN-Ti(C_xN_(1-x))膜层厚度、膜层中C/N的原子比以及微孔直径皆增加.处理150 min时,Ti(C_xN_(1-x))膜层厚度可达15μm,且膜层是由晶粒尺寸为40—60 nm的纳米晶粒组成.处理过程中有氢渗入,并在Ti(C_xN_(1-x))层下面形成富含TiH_2的过渡层.后期的真空退火处理可以将氢除去使TiH_2完全分解,而不影响表面Ti(C_xN_(1-x))膜的...
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