准分子激光光束均匀技术

作者：叶震寰; 楼祺洪; 李红霞; 董景星; 魏运荣

来源：激光技术, 2005, (02): 207-209+212.

• 准分子激光
• 光束均匀
• 蝇眼
• 光刻 excimer laser
• homogenizer
• fly’s e ye
• laser lithography

由于放电结构及谐振腔的限制,准分子激光光斑呈现不均的分布。介绍了各种均匀器的工作原理,从衡量光束均匀性的各项指标出发,评述分析了各种均匀方法的优缺点及适用范围。

• 单位
  中国科学院研究生院; 中国科学院上海光学精密机械研究所