CeO_2掺杂对ZnO薄膜气敏特性的影响

作者：季力; 杨晶; 李健

来源：传感器与微系统, 2011, (07): 60-63.

DOI：10.13873/j.1000-97872011.07.006

• 氧化铈掺杂
• 氧化锌薄膜
• 气敏特性
• 乙醇
• 丙酮 CeO2 doping
• ZnO thin films
• gas sensing properties
• ethanol
• acetone

ZnO薄膜进行CeO2掺杂,研究掺杂含量和热氧化对薄膜结构、表面、晶粒尺寸及气敏特性的影响。结果显示,用热蒸发制备的高纯Zn膜经500℃热氧化,获得c轴取向ZnO多晶薄膜。掺CeO2可抑制晶粒生长使颗粒细化平均粒径减小,同时改善了ZnO薄膜的体相化学计量比,Zn与O的比例从未掺杂时1∶1.28降到1∶1.191。XPS分析给出薄膜中Zn显+2价,O为-2价。掺CeO2(9%)可大大提高薄膜对乙醇和丙酮的敏感性,灵敏度分别达35和40。

• 单位
  内蒙古大学; 厦门大学