摘要

<正>我国"十三五"规划中明确指出,把发展传感器技术、推动相关产业进步列为国家战略发展的重点对象;2017年,工业和信息化部发布的《智能传感器产业三年行动指南(2017-2019年)》中也提出,要加快研发基于微电机(MEMS)工艺的新型智能传感器设计技术。

  • 单位
    国家知识产权局