薄膜晶体管及其制造方法

作者：闫梁臣; 袁广才; 徐晓光; 王磊; 彭俊彪; 兰林锋

来源：2016-02-03, 中国, CN201610076318.7.

一种薄膜晶体管及其制造方法,薄膜晶体管制造方法包括：采用直流溅射法在基板上沉积金属薄膜层的步骤；将所述金属薄膜层中的金属完全氧化或者部分氧化形成金属氧化物薄膜层的步骤。薄膜晶体管具有紧密结合的栅极层和栅极绝缘层。本发明的薄膜晶体管的制造方法使得采用直流溅射制备薄膜晶体管变为可能,使用该方法制备得到的薄膜晶体管具有紧密结合的栅极层和栅极绝缘层,从而改善了绝缘效果。

• 单位
  华南理工大学; 京东方科技集团股份有限公司