M(Au、Ag、Ti)/TiO2/Pt器件的电致阻变性质

作者：李璐; 邹利兰^*; 杨庆生; 谭聪林

来源：科技资讯, 2019, 17(01): 40-42.

DOI：10.16661/j.cnki.1672-3791.2019.01.040

• 二氧化钛薄膜
• 电致阻变
• 顶电极

该文分析了不同的类型的金属顶电极对TiO2薄膜电致阻变效应的影响,通过对器件I-V曲线的分析,发现器件Au/TiO2/Pt和Ag/TiO2/Pt具有稳定的电致阻变性质,且Ag/TiO2/Pt器件的置位电压和复位电压较小。相反的,器件Ti/TiO2/Pt的电致阻变性质具有不稳定的电致阻变性质,这与Ti电极容易被氧化在界面处形成氧化物有关,界面处氧化物的形成影响了器件的电致阻变性质。结合电致阻变效应机制的分析,表明顶电极材料会影响RRAM器件的电致阻变性质。

• 单位
  广东海洋大学