作用于全固态电致变色器件的钛酸锂薄膜的制备及性能研究

作者：王昭宇; 韩颖磊; 李法宇; 王伯宇; 李明亚; 王晓强^*

来源：河北师范大学学报(自然科学版), 2018, 42(05): 422-427.

DOI：10.13763/j.cnki.jhebnu.nse.2018.05.009

• 电致变色
• 钛酸锂
• 磁控溅射
• 器件

利用射频溅射法在室温下制备了可作为离子传导层的非晶态钛酸锂(LixTiyOz,LTO)薄膜,并利用XRD,SEM、紫外-可见分光光度计等,探究溅射功率对沉积薄膜微观结构和性能的影响.之后将其应用于电致变色器件,并以器件变色响应速度、变色均匀性、循环测试后的衰减程度等性能作为主要参数,探索最适合作为电致变色器件电解质层的LTO薄膜制备工艺.结果表明,当溅射功率为100W时,所制备的LTO薄膜为非晶态,表层均一致密,厚度约为165nm,光学平均透过率达70%以上.将其应用到电致变色器件中,器件着色、褪色时间可缩短到13,14秒,变色性能优异.

• 单位
  东北大学; 材料学院