本发明提供一种谐振式压力传感器及其制作方法,所涉及的谐振器采用基于SOI硅基的硅梳齿双端固定音叉结构的谐振器结构。谐振器内部通过两块压阻材料(经过工艺掺杂后的硅)和两个等效电阻(未掺杂的硅)形成惠斯通电桥,通过压力变化改变压阻材料的阻值变化从而检测谐振频率的变化。并基于硅岛结构,设计出压力传感器结构,将在压力敏感薄膜上的形变通过硅岛结构转化为谐振器方向上的平面振动,不仅降低了传感器的机械耦合,提高了品质因数,而且测量范围更广,可靠性更高。
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