a-Si剩余膜厚对TFT特性的影响

作者：田茂坤^*; 黄中浩; 谌伟; 王恺; 王思江; 王瑞; 董晓楠; 赵永亮; 闵泰烨; 袁剑峰; 孙耒来

来源：液晶与显示, 2019, 34(07): 646-651.

• a-Si剩余量
• 电学特性
• 工作电流
• 漏电流

本文通过电学特性测试设备在黑暗(Dark)和光照(Photo)两种测试环境下,研究了沟道不同a-Si剩余厚度对TFT电学特性的影响。通过调整刻蚀时间改变沟道内a-Si剩余厚度,找出电学特性稳定区域以及突变的临界点。实验结果表明:在黑暗(Dark)环境下a-Si剩余厚度在30%～48%之间时,TFT器件的电学特性比较稳定,波动较小;而剩余厚度少于30%时,TFT特性变差,工作电流变小,开启电压变大,电子迁移率变小;在光照环境下主要考虑漏电流的影响,在a-Si剩余厚度43%以内时,光照Ioff相对较低(小于Spec 20pA),同时变化趋势较缓;而剩余厚度大于43%时,光照Ioff增加25%,同时变化趋势陡峭。综合黑暗和光照测试环境,在其他条件不变的情况下,a-Si剩余厚度在30%～43%之间时TFT的电学特性较好,同时相对稳定。