W波段折叠波导行波管用硼掺杂金刚石衰减器的设计与性能研究

作者：化称意; 王松冕; 李莉莉; 潘攀; 蔡军; 冯进军

来源：真空电子技术, 2021, (03): 32-53.

DOI：10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2021.03.06

• 硼掺杂CVD金刚石
• 衰减器
• W波段折叠波导行波管
• 电压驻波比

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备制备了硼掺杂CVD金刚石,采用三维电磁仿真软件和飞秒激光加工系统优化设计并研制出用于W波段折叠波导行波管的硼掺杂CVD金刚石衰减器,采用矢量网络分析仪分别测试了硼掺杂CVD金刚石的介电性能和衰减器的驻波系数和传输系数。结果表明硼掺杂CVD金刚石在W波段介电常数在7.49～8.43之间,损耗角正切≥0.26;硼掺杂CVD金刚石衰减器在85～110GHz范围内驻波比小于1.10,S21<-50 dB。

• 单位
  中国电子科技集团公司第十二研究所