红外宽波段亚波长金属线栅偏振元件的研制

作者：付秀华; 林晓敏^*; 张功; 王野; 张静

来源：中国激光, 2021, 48(09): 68-75.

• 薄膜
• 减反射膜
• 金属Al
• 间歇镀膜
• 亚波长
• 高偏振性能

基于亚波长结构对光场的调控作用,研制了单层金属线栅偏振元件。利用等效介质和严格耦合波分析(RCWA)理论确定了结构参数,使用有限时域差分(FDTD)法优化设计了Si基底Al金属线栅结构,并通过多层减反射膜与金属线栅结构的匹配,降低了基底剩余反射率,提高了横磁(TM)波透过率。采用间歇镀Al法减少了辐射温度导致的胶栅形变,制备了具有高偏振性能的亚波长元件。经测试,所制备的线栅偏振元件在中波红外3～5μm波段的TM波透过率为89.1%,消光比为21.9 dB。

• 单位
  长春理工大学