摘要
采用简单的溶胶-凝胶方法在石英玻璃衬底上制备了Al掺杂的ZnO(AZO)透明导电薄膜,通过用40 W 365 nm波长的紫外灯(UVA)照射对所制备的AZO薄膜进行表面修饰,并用紫外分光光度计研究了其光电性能。结果表明,所制备的AZO薄膜为透明导电薄膜,且经UVA表面处理后,AZO薄膜的电阻率从1.62Ω·cm降低到了4.7×10-2Ω·cm,可以归因于AZO薄膜表面存在较多的氧负离子。该实验方案过程简单,实验内容涉及材料、化学和物理等相关知识,可以进一步加深学生对材料科学的理解以及培养学生的思考和动手能力,适合用于创新实验教学。
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