无冷凝高精度温度控制设备

作者：赵苏唯

来源：山西化工, 2023, 43(09): 123-130.

DOI：10.16525/j.cnki.cn14-1109/tq.2023.09.048

• 无冷凝
• 高精度温度控制
• 双站射频子系统

无冷凝高精度温度控制设备保障系统电子组件正常工作的重要设备，其运行效果的好坏，直接影响整个系统的运行状态。本技术方案介绍了无冷凝高精度温度控制设备的系统组成、工作原理、功能、性能等内容，适用于产品研制的全过程。

• 单位
  苏州科技大学