一种集成电路互连线寄生电容的测量电路及其测量方法

作者：孙立杰; 张龙; 石艳玲; 李小进; 胡少坚; 任铮; 郭奥; 刘林林

来源：2013-08-23, 中国, CN201310371493.5.

本发明公开了一种集成电路互连线寄生电容的测量电路,包括信号发生单元,其输入端接收第一输入电压信号后生成两路控制信号；工作电源,其提供工作电压；晶体管控制单元,其与信号发生单元、工作电源以及待测电容结构的第一端连接,其根据两路控制信号将待测电容结构第一端的与工作电源连接或接地；信号控制单元,其输入端接收第二输入电压信号,输出端与待测电容结构的第二端连接,输出端输出第三控制信号调节待测电容结构第二端的电势；直流电流表,其设置在工作电源与晶体管控制单元之间,用于测量工作电源通向晶体管控制单元的平均电流,计算待测电容结构的寄生电容。本发明还公开了一种应用集成电路互连线寄生电容的测量电路的测量方法。

• 单位
  上海集成电路研发中心有限公司; 华东师范大学