为促进MEMS惯性触发开关实现工程化应用，对工艺误差下MEMS惯性触发开关的阈值特性进行了研究。加工了相关MEMS万向惯性开关器件并进行加速度阈值测试，从尺寸与弹性模量两方面分析其误差来源与产生机理，测量器件的结构尺寸与弹性模量，构建一个考虑工艺尺寸与弹性模量的仿真模型并进行仿真精度分析。仿真结果表明，工艺尺寸与弹性模量误差对开关的阈值特性有重要影响，所构建的仿真模型能够较好地预测开关性能。
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