摘要
基于密度泛函的第一性原理计算,采用新型膦酸盐乙二胺四甲叉膦酸钠作为耐水合试剂对化成后的铝电极箔进行耐水合处理。研究了γ-Al2O3(110)面上水分子的吸附机理以及铝电极箔的耐水合性能。计算结果显示水分子在γ-Al2O3(110)面上的Al原子上方可发生吸附,且四面体位置上的Al原子吸附活性优于八面体位置上的Al原子。红外光谱及原子力显微镜检测表明铝电极箔耐水合性能优良。新方法处理后,升压时间从15.1s缩短到7.8s。
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单位电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学