电极对薄膜体声波谐振器性能的影响

作者：焦向全; 张睿; 马晋毅; 杜波; 钟慧; 石玉

来源：压电与声光, 2015, 37(03): 373-376.

• 薄膜体声波谐振器
• 有限元
• 有效机电耦合系数
• 品质因数
• COMSOL

采用有限元分析软件COMSOL Multiphysics仿真了三维结构的谐振器,探讨了不同的顶电极形状对谐振器性能的影响。有效机电耦合系数(k2teff)随电极-压电层厚度比增大而减小,其中电极形状为三角形的谐振器在厚度比为0.05时获得最大k2teff(5.73%)。品质因数Q值变化趋势与k2teff相反,由三角形电极在厚度比为0.25时,获得最大Q值为1 314。不同电极形状的谐振器的优值随电极-压电厚度比先增大后减小,最大值为65.4,由正方形电极在比值为0.15时获得。

• 单位
  中国电子科技集团公司第二十六研究所; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室