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摘要
文章首先阐述了微电子机械系统(MEMS)技术的基本概念、工艺流程及发展概况;其次,介绍了RF MEMS技术在射频系统中的应用及RF MEMS器件在功耗、体积、质量、性能和成本上的优势;最后重点介绍了RF MEMS技术应用,包括RF MEMS开关、移相器、谐振器和滤波器等典型微波元器件,分析其结构特征、发展现状和相对于传统器件的性能优势,在此基础上展望RF MEMS技术应用前景。
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文章首先阐述了微电子机械系统(MEMS)技术的基本概念、工艺流程及发展概况;其次,介绍了RF MEMS技术在射频系统中的应用及RF MEMS器件在功耗、体积、质量、性能和成本上的优势;最后重点介绍了RF MEMS技术应用,包括RF MEMS开关、移相器、谐振器和滤波器等典型微波元器件,分析其结构特征、发展现状和相对于传统器件的性能优势,在此基础上展望RF MEMS技术应用前景。
