摘要
针对现有产品测温范围窄、允差等级低的问题,设计一种高精度宽温区铂薄膜热敏电阻器,开展高稳定铂膜制备和高精度阻值修调技术研究,提升温度系数和阻值精度参数指标,优选高温防护玻璃包封材料,拓宽产品测温范围。测试结果表明:产品测温范围覆盖-80~600℃,允差等级在-55~300℃温区内符合IEC60751规定1/3B级,其余温区符合IEC60751规定B级要求,温度系数为(3 851±4)×10-6/℃,性能指标优于国际标准,可广泛用于航空、航天领域高可靠温度测量。
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单位中国电子科技集团公司第四十九研究所