制备BiGaO₃薄膜材料的气体脉冲序列

作者：宋长青; 尹海宏; 王志亮

来源：2015-11-11, 中国, ZL201710579260.2.

一种用于制备BiGaO3薄膜材料的气体脉冲序列,由铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲组成,所述气体脉冲序列通入真空反应腔中；化学吸附反应在真空反应腔中进行,铋前驱体气体脉冲、镓前驱体气体脉冲、氧前驱体气体脉冲、惰性气体脉冲按照一定的次序依次通入真空反应腔中。通过采用本发明的制备BiGaO3薄膜材料的方法,可以实现BiGaO3薄膜生长厚度的精确可控,且BiGaO3薄膜表面平整度大大优于现有技术。

• 单位
  南通大学