压电式压力传感器的氦质谱压力真空检漏方法

作者：张科辉; 高成; 黄姣英; 王怡豪

来源：电子技术与软件工程, 2019, (17): 241-243.

• 氦质谱检漏
• 压力真空法
• 真空室
• 压力传感器

本文概述了吸枪法的原理,分析了吸枪法在压力传感器检漏中存在的不足,在此基础上提出了氦质谱压力真空捡漏方法,并且设计了适用于CY-YD-203型压力传感器检漏试验的真空室和检漏工装。通过试验验证,本文设计提出的真空室及检漏工装能够满足压力传感器的检漏试验要求。

• 单位
  北京航空航天大学