高功率窄脉冲垂直腔面发射激光器n-DBR反射率的优化

作者：张立森; 宁永强; 张星; 刘迪; 秦莉; 张金龙; 刘云; 王立军

来源：中国激光, 2012, (05): 14-21.

• 激光器
• 垂直腔面发射激光器
• 窄脉冲
• 高功率
• 自热效应 lasers
• vertical cavity surface emitting laser
• short pulse
• high power
• self-heating effect

从理论上研究了n型分布布拉格反射镜(n-DBR)的反射率对器件阈值电流、输出功率以及转换效率的影响,得出了最佳反射率。在此基础上研制了垂直腔面反射激光器(VCSEL)单管和阵列器件,采用波形分析法对VCSEL器件的功率进行了测试。在脉冲宽度60ns,重复频率100Hz条件下,500μm口径单管器件在注入电流为110A时,峰值输出功率达102W,功率密度为52kW/cm2,4×4、5×5阵列器件在100A时,功率分别达到98W和103W。对比了单管器件在连续、准连续和脉冲工作条件下的输出特性和光谱特性,连续和准连续条件下激射波长的红移速率分别为0.92nm/A和0.3nm/A,6A时的内部温升分...

• 单位
  发光学及应用国家重点实验室; 中国科学院研究生院; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所