摘要

<正>1.引言便携式低功耗微电子设备在近些年得到了飞速的发展,尤其在人体健康检测系统、嵌入式系统、军事安全应用系统等方面得到了广泛的应用。这些器件依靠传统的电化学电池提供能量,如锂离子电池,聚合物电池等。随着复杂数字系统集成技术(IC)以及微机电技术(MEMS)的高速发展,微电子器件在尺寸

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