多晶硅生产工艺中氯化氢的回收利用

作者：王金宝; 胡国清; 汪占财

来源：中国石油和化工标准与质量, 2023, 43(08): 13-15.

• 氢化氯化
• 氯氢化
• 氯化氢
• 循环利用

通过将多晶硅还原工序副产物氯化氢回收后通入氢化氯化工序FBR反应器(流化床反应器)中与四氯化硅、金属硅粉、氢气在催化剂作用下进行气固反应，实现三氯氢硅的增产、降低四氯化硅的消耗量、氢元素和氯元素的循环利用等目的。