无线射频识别技术在CMP设备中的应用

作者：刘志伟; 胡孝伟; 张金环

来源：电子工业专用设备, 2019, 48(03): 29-32.

• 无线射频识别
• 化学机械抛光
• 数据读写
• 射频标签

介绍了无线射频识别技术的主要原理及其特点,通过对化学机械抛光(CMP)设备中片盒(Cassette)识别模块的分析,将无线射频识别技术(RFID)应用到化学机械抛光设备中,对Cassette上射频标签进行数据读写操作。射频标签中含有晶圆加工工艺信息,可用于成品质量追踪、回馈,便于晶圆管理,并为工厂自动化管理晶圆调度系统提供数据。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所