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摘要
针对MOCVD外延设备使用国产钨中圈寿命较短的问题,对进口和国产钨中圈进行了金相检测对比分析,并使用ansys软件对钨中圈使用过程中各位置温度变化进行了计算机模拟。结果表明,钨中圈使用失效后,组织由长条状纤维组织转变为等轴晶,部分组织发生了二次再结晶;钨中圈各个位置的晶粒长大的程度不同,这是导致钨中圈的不均匀变形的主要原因,当变形达到一定程度后,钨中圈将失效;国产钨中圈原始组织为轧制态的长条状纤维组织,进口钨中圈原始组织存在一定程度的再结晶,可有效降低并推迟二次再结晶的发生,提高钨中圈使用寿命。
