薄膜厚度对PZT/STO铁电电容器隧穿电阻的影响

作者：王英龙; 刘林; 张鹏程; 梁伟华; 丁学成; 褚立志; 邓泽超

来源：功能材料, 2013, (03): 363-366+370.

• 铁电电容器
• 隧穿效应
• Landau模型
• PZT the ferroelectric capacitors
• the tunneling effect
• Landau model
• PZT

结合Landau-Devonshire自由能理论和晶格模型,研究了PbZr1-xTixO3(PZT)/SrTiO3(STO)复合薄膜中PZT和STO厚度对铁电隧道结极化强度、电导和隧穿电阻等的影响。模拟结果表明,随着层数增加,极化强度增大;平均极化强度随着PZT厚度增加而增强,随着STO厚度增加而减弱;随着PZT和STO厚度增加,电导减小,隧穿电阻率增加;当厚度变化相同时,PZT引起电导的变化大,隧穿电阻率变化小。考虑薄膜面积的影响,当薄膜面积从无限大变成有限大时,极化强度、电导和隧穿电阻均减小。

• 单位
  河北大学