随着卫星应用频段提高到毫米波甚至太赫兹频段,常规陶瓷基材在损耗、表面状态上的不足已非常突出,石英基材将成为星载微波电路板的首选。但由于石英基材自身的特点以及高频段应用的特殊要求,石英基材微带电路的制作技术在国内还不成熟。文章通过对石英基板材料特性、工艺流程、关键工艺技术进行分析,提出了电路制作应注意的技术要领,以及工艺难点的解决方法。
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