基于硅模具的Zr基非晶合金微成形工艺研究

作者：王栋; 廖广兰; 潘杰; 彭平; 柳林; 史铁林

来源：中国机械工程, 2010, (02): 222-225.

• 非晶合金
• 微成形
• 硅模具
• 微齿轮 metallic glass
• micro-forming
• silicon mold
• micro-gear

研究了利用硅模具进行微成形的热压工艺,针对超塑性成形Zr65Cu17.5Al10Ni7.5非晶合金微零件过程进行分析,提出精确去除非晶合金飞边的方法,并采用质量分数为40%的KOH溶液(温度为80℃)腐蚀去除硅模具得到微型零件。利用该工艺成功制备出尺寸精度很高、模数为0.1mm、齿数为20、厚度为300μm的非晶态微型直齿圆柱齿轮。该工艺用于制备高性能非晶合金微型零件优势明显,尤其对于芯部是复杂结构的微型零件更具成形优势。

• 单位
  材料成形与模具技术国家重点实验室; 武汉光电国家实验室; 华中科技大学