FeCoAlN软磁薄膜的制备与性能

作者：周俊; 陈彦; 倪经; 陈学平; 黄豹; 邹延珂

来源：磁性材料及器件, 2014, 45(04): 45-49.

• FeCoAlN薄膜
• 制备
• 结构
• 磁性能
• 热稳定性

采用磁控溅射法在Ar+N2的混合气氛中制备FeCoAlN薄膜,并对其进行磁场真空热处理,以研究薄膜的结构、磁性及热稳定性。当N2与(N2+Ar)的流量比为9%时制备的薄膜具有良好的软磁性能。随着Al含量的增加,薄膜的热稳定性明显得到改善。Al含量为13.5%的(Fe64.8Co35.2)AlN薄膜在400℃真空磁场热处理60min,仍然具有良好的软磁性能,其饱和磁化强度μ0Ms为1.2T,易轴矫顽力为0.68kA/m,各向异性场为2.8 kA/m。

• 单位
  西南应用磁学研究所