基于数字微镜器件的无光罩技术应用

作者：薛瑞

来源：集成电路应用, 2022, 39(10): 20-22.

DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2022.10.008

• 数字微镜器件
• 掩模板
• 数字光刻
• 屏幕编号

阐述数字微镜技术，基于数字微镜器件的光刻机特性，包括降低掩模成本、减小曝光关键尺寸CD，探讨基于数字微镜器件的光刻机技术应用。