耐高温柔性Mica/ZnO薄膜的制备与表征

作者:刘星生; 董丽君
来源:化工新型材料, 2023, 51(04): 142-144+150.
DOI:10.19817/j.cnki.issn1006-3536.2023.04.025

摘要

以氟晶云母片为衬底,进行柔性ZnO透明导电薄膜(Mica/ZnO)的制备与表征。利用XRD和SEM表征可知,晶种水热法比直接水热法更有利于制备Mica/ZnO薄膜。研究发现,晶种水热法制备Mica/ZnO薄膜分为颗粒状ZnO晶体生长阶段、颗粒状ZnO晶体成长为棒状ZnO晶体阶段和棒状ZnO晶体成长三个阶段。采用晶种水热法制备Mica/ZnO薄膜适宜的晶化时间为26h,制备的致密棒状ZnO晶体长度约500nm左右。制备的Mica/ZnO薄膜可耐500℃以上的高温,为研究耐高温柔性ZnO透明导电薄膜提供更为丰富的柔性衬底材料和制备方法。

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