标准硅片波数定值及测量不确定度

作者：谭云欢; 李伯鸿; 何晓洁; 罗荷洲

来源：科技资讯, 2019, 17(24): 1-3.

DOI：10.16661/j.cnki.1672-3791.2019.24.001

• 标准硅片
• 单晶硅
• 拉曼光谱仪
• 波数
• 不确定度

建立标准硅片波数值的测定方法,并对波数值的测量结果进行不确定度评定。方法:以硅片作为样品,用精密拉曼光谱仪测量520cm-1附近的拉曼散射信号,记录该峰位的相对波数值。建立数学模型,分析各不确定度分量引入的不确定度,评定波数值的测量不确定度。