紫外波段SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜的制备与研究

作者：李志成; 刘斌; 张荣; 张曌; 陶涛; 谢自力; 陈鹏; 江若琏; 郑有炓; 姬小利

来源：Acta Physica Sinica, 2012, (08): 440-445.

• 介质膜分布式布拉格反射镜
• 传递矩阵方法
• X射线反射 dielectric distributed Bragg reflector
• transfer-matrix method
• X-ray reflection

采用光学传递矩阵方法设计了紫外波段SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜,并利用等离子体增强化学气相沉积技术在蓝宝石(0001)衬底上制备了SiO_2/Si_3N_4介质膜分布式布拉格反射镜.光反射测试表明,样品反射谱的峰值波长仅与理论模拟谱线相差10 nm,并随着反射镜周期数的增加而蓝移.由于SiO_2与Si_3N_4具有相对较大的折射率比,因而制备的周期数为13的样品反射谱的峰值反射率就已大于99%.样品反射谱的中心波长为333 nm,谱峰的半高宽为58 nm.样品截面的扫描电子显微镜和表面的原子力显微镜测量结果表明,样品反射谱的中心波长蓝移是由子层的层厚和界面粗糙度的变化引起...

• 单位
  固体微结构物理国家重点实验室; 南京大学; 中国科学院半导体研究所